|
|
00:56 Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 2 |
Автор: Королев Михаил Александрович, Крупкина Татьяна Юрьевна, Путря Михаил Георгиевич все, Шевяков Василий Иванович скрыть
Художник: Зотова Н. В., Новак Н.
Редактор: Чаплыгин Ю. А.
Издательство: Бином. Лаборатория знаний, 2012 г.
Жанр: Машиностроение. Приборостроение
Аннотация к книге "Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 2"Часть вторая. Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования.
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области. Скачать книгу Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 2.
|
Похожие материалы:
|
|
| Календарь |
| « Июнь 2018 » |
| Пн |
Вт |
Ср |
Чт |
Пт |
Сб |
Вс |
| | | | | 1 | 2 | 3 | | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 | | 11 | 12 | 13 | 14 | 15 | 16 | 17 | | 18 | 19 | 20 | 21 | 22 | 23 | 24 | | 25 | 26 | 27 | 28 | 29 | 30 | |
|
